場發(fā)射掃描電子顯微鏡-拓普思實驗室系統(tǒng)

產(chǎn)品名稱：場發(fā)射掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品型號：GeminiSEM 360

產(chǎn)品品牌：ZEISS 蔡司

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產(chǎn)品詳情

GeminiSEM 360 場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）

FE-SEM滿足亞納米成像、分析和樣品靈活性的高要求

蔡司GeminiSEM可助您輕松實現(xiàn)亞納米級分辨率的成像。出色的成像和分析技術(shù)更使FE-SEM（場發(fā)射掃描電子顯微鏡）如虎添翼。采用創(chuàng)新的電子光學(xué)系統(tǒng)和全新樣品倉設(shè)計，不僅操作更加簡便，用途更加靈活多樣，還可為您帶來更高的圖像質(zhì)量。無需水浸物鏡即可拍攝低于1 kV的亞納米級圖像。

Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)的三種設(shè)計：

●　GeminiSEM 360 — 分析測試平臺的理想選擇

●　GeminiSEM 460 — 實現(xiàn)高效分析

●　GeminiSEM 560 — 表面成像的新標準

GeminiSEM 360

盡享表面敏感成像的優(yōu)勢并在低電壓或高探針電流下實現(xiàn)信息收集。了解Inlens探測器、NanoVP、關(guān)聯(lián)式成像查看或人工智能支持的圖像分割優(yōu)勢。

高樣品靈活性

★　GeminiSEM 360是用于分析測試平臺的理想設(shè)備，為材料和生命科學(xué)、工業(yè)領(lǐng)域提供了至臻的功能性。

★　同名的Gemini 1電子光學(xué)設(shè)計提供表面靈敏的高分辨率圖像，即使在低電壓條件下仍具有出色的分辨率，并在高探針電流條件下提供快速成像。

★　Inlens二次電子成像和背散射電子成像可同時收集高分辨率的表面形貌和復(fù)合成分襯度信息（對電子束敏感樣品亦是如此）。

★　在低真空條件（即可變壓力）下對絕緣樣品進行成像時，無需犧牲Inlens襯度：NanoVP保證了出眾功能，確保在不受荷電影響的情況下進行Inlens成像。

出色的用戶體驗

★　GeminiSEM 360帶來良好的用戶體驗：憑借其寬闊的觀察視野和高度個性化的全新樣品倉，即使在面對超大型樣品時也能輕松檢測。

★　通過蔡司ZEN Connect實現(xiàn)的關(guān)聯(lián)式成像和關(guān)聯(lián)顯微技術(shù)，讓您暢享無縫導(dǎo)航。

★　使用自動功能（如自動聚焦功能和智能探測器），輕松獲得清晰圖像。

★　幾何對稱設(shè)計的EDS端口和共面式EDS/EBSD幾何結(jié)構(gòu)，讓您在執(zhí)行高效成像和分析工作流程時更加游刃有余。

★　蔡司Predictive Service（預(yù)防性維護）可讓您充分利用系統(tǒng)運行時間，盡享隨時進行定期維護的優(yōu)勢。

杰出的拓展能力

★　系統(tǒng)可不斷升級是保障您的投資的前提條件。因此，GeminiSEM 360也是蔡司ZEN core軟件生態(tài)系統(tǒng)中的一員，讓您能夠暢享系統(tǒng)升級的便利。

★　ZEN Connect可結(jié)合多模態(tài)和多尺度數(shù)據(jù)，ZEN Intellesis用于高級人工智能所支持的圖像分割，ZEN的分析模塊用于報告和分析分割的數(shù)據(jù)，ZEN數(shù)據(jù)存儲讓您可以通過連接實驗室中不同設(shè)備采集的數(shù)據(jù)來集中管理項目。

★　作為APEER社區(qū)的成員，您可訪問其他用戶創(chuàng)建的工作流和腳本，從而遠程幫助您解決難題。

★　由于提供明確的升級路徑，系統(tǒng)可隨新功能的發(fā)布得到進一步提升。

●　Gemini 1

基本原理簡介

FE-SEM專為高分辨率成像設(shè)計，性能的一個關(guān)鍵是其電子光學(xué)鏡筒。Gemini是為實現(xiàn)任何樣品的出色分辨率而特別設(shè)計的（尤其在低加速電壓下），可實現(xiàn)完整高效的探測，且操作簡單。

Gemini 1光學(xué)鏡筒包含電子束推進器、Inlens探測器和Gemini物鏡。

Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)有以下三個主要特征：

✔ Gemini物鏡的設(shè)計結(jié)合了靜電場與電磁場，在大幅提升光學(xué)性能的同時大大降低了對樣品的影響。如此也可實現(xiàn)對磁性材料等具有挑戰(zhàn)性的樣品的高品質(zhì)成像。

✔ Gemini電子束推進器技術(shù)是一種集成光束減速器，確保了小尺寸的電子束斑和高信噪比。

✔ Gemini Inlens的探測設(shè)計原理通過同時探測二次電子（SE）和背散射電子（BSE），大幅縮短到圖像的時間，確保了高效的信號探測。

針對您的應(yīng)用，可以有以下優(yōu)勢：

✔ SEM電子束對準可長期保持穩(wěn)定，改變探針電流和加速電壓對系統(tǒng)幾乎沒有影響。

✔ 幾乎無磁場泄露的光學(xué)系統(tǒng)可實現(xiàn)無失真高分辨率成像。

✔ 使用Inlens SE探測器，可通過真正的表面敏感性SE 1電子技術(shù)生成圖像，從而只獲得樣品最頂層的信息。

✔ 使用Inlens EsB探測器的探測設(shè)計理念，在非常低的電壓下獲得真實的材料成分襯度。

●　Gemini 2

充分利用快速分析

任何樣品的全面表征都需要高性能的成像和分析，另外，如今的用戶都希望設(shè)備易于設(shè)置和操作。Gemini 2光學(xué)系統(tǒng)能滿足這些需求。

Gemini技術(shù)。Gemini 2電子光學(xué)鏡筒截面示意圖，包含一個雙聚光鏡、電子束推進器、Inlens探測器和Gemini物鏡。

高分辨率成像與分析可無縫切換

✔ GeminiSEM 460配備具有雙聚光鏡的Gemini 2光學(xué)系統(tǒng)。

✔ 連續(xù)調(diào)整電子束的電流強度，同時優(yōu)化束斑大小。

✔ 可在低束流的高分辨率成像與高束流的分析模式之間進行無縫切換。

✔ 在更改成像參數(shù)后無需進行校準，省時省力。

保持靈活，高效工作

✔ 保持靈活：使用高電子束能量密度在低束流和高束流下進行高分辨率成像和分析，不受您選擇的電子束能量影響。

✔ 樣品不會暴露于磁場中：實現(xiàn)了大觀察視野內(nèi)的無失真EBSD圖案和高分辨率成像。

✔ 樣品傾斜轉(zhuǎn)動時不影響電子光學(xué)系統(tǒng)的性能，磁性樣品也能輕松成像。

✔ 選擇適合樣品的消荷電模式：局部電荷補償、腔室內(nèi)可變壓力或NanoVP。

●　Gemini 3

在低于1 kV條件下成像——整合專業(yè)知識

Gemini 3光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化了低電壓和極低電壓下的分辨率并實現(xiàn)了襯度增強，確保從1 kV到30 kV的所有工作條件下成像效果可達高分辨率且包含兩個彼此協(xié)同運作的組件：Nano-twin物鏡和全新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot。此外，它還具有高分辨率電子槍模式和可選的樣品臺減速技術(shù)（Tandem decel）。

分辨率模式——讓您看到更多細節(jié)

通過兩種模式可獲得SEM圖像的更多細節(jié)和更多探測信號。在高分辨率電子槍模式下，電子束色差降低，從而實現(xiàn)了更小的束斑；在樣品臺減速技術(shù)模式下，為樣品施加減速電壓，從而可進一步提高1 kV以下的圖像分辨率并增強背散射探測器的檢測效率。

Gemini 3鏡筒的全新光學(xué)設(shè)計。GeminiSEM 560的截面示意圖。Nano-twin物鏡（紅色），Smart Autopilot（藍色）。

Nano-twin物鏡的優(yōu)勢：

✔ 在低電壓和超低電壓下達到亞納米級分辨率，實現(xiàn)更出色的信號探測效率。

✔ 與標準Gemini物鏡相比，在低電壓下的物鏡像差降低了三倍，從而使樣品上的磁場降低了三倍，約為1 mT。

✔ 優(yōu)化幾何結(jié)構(gòu)和靜電場及磁場分布。

✔ Inlens探測器在低電壓成像條件下的信號得到增強。

✔ 這些特性提供了在低于1 kV的條件下完成亞納米級成像的能力，而無需將樣品浸入電磁場中。

工作原理：

✔ Smart Autopilot優(yōu)化了通過鏡筒的電子軌跡，從而確保了在每個加速電壓下盡可能高的分辨率。

✔ 該自動功能實現(xiàn)了在整個放大倍率范圍內(nèi)（從1倍到2,000,000倍）的無縫對準自由切換，并將觀察視野增加了10倍，從而可以在單幅圖像中對13 cm的物體成像。

✔ 32k×24k的圖像存儲分辨率與新的概覽模式相結(jié)合，確保在超大觀察視野內(nèi)獲得無拼接的像素密度。

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